台积电推迟了High-NA EUV的启动,宣布A13工艺,并分享了十年末的计划

台积电推迟了High-NA EUV的启动,宣布A13工艺,并分享了十年末的计划

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简体中文翻译:

TSMC新闻摘要

期间技术工艺关键特点目标市场
2028A1 4‑nm(约)智能手机和消费设备2029
2029A12 – 更薄版本第二代GAA晶体管 + 从硅片背面供电AI加速器,高性能芯片
2027A16第一代GAA + 从硅片背面供电高性能计算与AI分段

TSMC计划的新动向

1. 放弃High‑NA EUV至2029年
- 公司宣布未来几年不使用高数值孔径EUV光刻设备。这使TSMC相较于三星和英特尔更具优势。

2. 技术工艺逐步发展
- 2028年推出A14,2029年推出两款衍生版本:A13(通过光学压缩减小尺寸)与A12(进一步缩小)。
- N2、N2P、N2U、A14和A13面向移动芯片,成本是关键。
- A16和A12针对高性能计算和AI加速器,重点是性能。

3. 第二代GAA晶体管
- 计划在A14引入环栅结构(GAA),随后在A13和A12继续使用。硅片背面供电仅用于A12与A16。

4. 特殊工艺N2U
- 在N2系列生命周期的第三年,TSMC将推出N2U,可提升3–4%速度或降低8–10%功耗,同时增加2–3%的晶体管密度。
- 与现有工具兼容,使开发者可无大成本从N2迁移至N2U。计划于2028年投产。

5. 时间表与更新
- A16将在2027年实现(比原先计划晚)。
- 预计A16技术的量产产品将于本年度末出现,但大规模生产会更晚开始。

结论
TSMC展示了从移动芯片到高性能计算的渐进式、目标明确的发展策略。公司有意识地在未来几年放弃High‑NA EUV,专注于更经济、更灵活的技术,以快速适应不同市场细分需求。

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