在中国研发了一种紧凑型固体激光器，可进入此前无法触及的VUV波段，为科学研究、航天技术和芯片制造开启了新的可能性

中国科学家发现了一种紧凑型真空紫外（VUV）光源

来自新疆技术学院物理与化学系的科学家们，隶属于中国科学院，研发出一种新的非线性光学晶体ABF (NH₄B₄O₆F)。该材料可以在固态平台上制造工作于VUV波段的激光，而此前需要大型昂贵的同步辐射或等离子装置。

有什么新颖之处？
* 波长 – 158.9 nm（固体激光器中最短的结果）。
* 脉冲能量 – 高达4.8 µJ，波长177.3 nm。
* 峰值转换效率 – 7.9%。
* 尺寸 – 台式设备；不需要巨大的真空腔。

其工作原理？
ABF晶体结合了以下特性：

1. 在VUV波段具有高透明度。
2. 强非线性系数，能够有效地进行频率倍增（第二谐波）。
3. 具备足够的折射率以实现相位匹配。

因此，研究人员成功获得了一种强大、短波长激光，而不需要使用有毒物质（如KBBF中的铍）和笨重装置。

为什么重要？
* 紧凑与经济 – 固态结构降低了制造和维护成本。
* 可靠性 – 与气体等离子体激光相比，寿命更长。
* 广泛应用：

* 超精密材料刻蚀
* 半导体光刻与质量控制
* 量子计算
* 超导体光谱学
* 化学反应研究
* 航天技术

简短历史
十余年来，中国科学家一直致力于该材料的研发。其发现已发表于最新一期《Nature》杂志。当时，ASML公司曾尝试开发波长158 nm的等离子激光，但在多年研究后放弃了项目。

ABF晶体为可获得且强大的VUV激光开启了新途径，使其既适用于科研实验室，也适用于工业应用。